扫描电镜

扫描电子显微镜，简称扫描电镜(SEM)，是电子显微镜的一种。

扫描电镜是一种通过电子枪射出电子束聚焦后在样品表面做光栅状扫描的方法，其应用是二次电子成像。扫描电镜原理是将样品表面投射非常细小的电子束，并通过收集电子反弹或其它来源的二次电子信号来确定样品表面形态和性质。

高分辨率：扫描电镜能够提供非常高的空间分辨率，可达到0.1纳米的水平，可以观察微小的表面结构和形貌。大深度视场：扫描电镜能够提供非常深的视场深度，能够观察样品的三维结构。